智能馬弗爐是一種主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程，也可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

 

　　如果智能馬弗爐出現(xiàn)了故障導(dǎo)致釬焊出現(xiàn)問題，會直接影響工件的質(zhì)量與效果，下面簡單介紹一下如何排查該設(shè)備哪里漏氣及維修方法：

 

　　1、先有檢漏儀檢查是否漏氣，如果經(jīng)檢過檢漏，真空規(guī)管處的保護(hù)閥門存在漏氣的問題，則更換該閥門。

 

　　2、查看軸承磨損情況，如果磨損嚴(yán)重，應(yīng)更換該軸承。

 

　　3、如果經(jīng)過檢查主閥閥桿密封、預(yù)抽閥、放氣閥、氣動球閥和爐門密封都存在不同程度的漏氣現(xiàn)象，則需要查看主閥閥桿密封、爐門大圈密封圈是否出現(xiàn)老化或者產(chǎn)生裂紋，如果有老化嚴(yán)重或者產(chǎn)生裂紋，就會導(dǎo)致漏氣，因此更換相應(yīng)的密封圈。密封圈可以選用耐高溫、耐各種介質(zhì)的氟橡膠材料的密封圈。

 

　　4、以上檢查如果不存在問題，接下來可以對熱電偶金屬封頭處進(jìn)行檢漏，由于測漏的反應(yīng)時間比較長，如果熱電偶金屬封頭附近存在非常微小的漏氣點，很容易被忽略。對此應(yīng)采用一種特殊的方法：先用塑料袋將偶絲密封處包起來，再將氦氣通入塑料袋中進(jìn)行檢漏。經(jīng)上述方法的檢測，如果發(fā)現(xiàn)熱電偶自身密封處有漏氣現(xiàn)象，應(yīng)更換新的熱電偶。

 

　　5、然后按照維修方案的規(guī)定對充氣組閥進(jìn)行檢查，如果發(fā)現(xiàn)充氣組閥中的補氣閥存在漏氣問題，應(yīng)將該閥門進(jìn)行更換。